Zernikeとは 意味・読み方・使い方

Phase shifts can be produced by inserting a Zernike phase plate in the back focal plane of the objective lens.発音を聞く 例文帳に追加

位相のずれは、ゼルニケ位相板を対物レンズの後焦点面に挿入することによって作ることができる。 - 科学技術論文動詞集

The composited image is converted numerically by Zernike polynomial in a Zernike calculation part 23, and concentric components therein are outputted to a determination part 24, and are compared with a threshold set beforehand, to thereby determine the presence of defects of the wafer W.例文帳に追加

合成画像は，ゼルニケ演算部２３においてゼルニケ多項式によって数値化され，そのうちの同心円成分が判定部２４に出力され，予め設定したしきい値と比較されて，ウエハＷの欠陥の有無が判断される。 - 特許庁

The wavefront aberration is obtained by simulation on the basis of the Zernike polynomials of surface shapes of first faces of the lenses, the parallel plane plate, and the glass plate, and a rotation angle of each optical element which minimizes the wavefront aberration is obtained.例文帳に追加

このようにして求まった、各レンズや平行平板、ガラスの第１面の面形状のZernike多項式を基に、波面収差をシミュレーションによって求め、この波面収差を最小にする各光学素子の回転角を求める。 - 特許庁

Preferably, the reference shape of the reflection face is stored in relation to a prescribed dimensionality of Zernike polynomials.例文帳に追加

反射面の基準反射面形状をゼルニケ多項式の所定の次元に関連させて記憶しておくことが望ましい。 - 特許庁

A first rotational angle calculating section 7 calculates a plurality of rotational angles using a Zernike moment having frequency of 2 or above.例文帳に追加

第１の回転角度算出部７は、周期数２以上のツェルニケ・モーメントを用いて複数の回転角度を算出する。 - 特許庁

In Zernike polynomial, it is desirable that the aberrations described above are Z2 (inclination of X), Z3 (inclination of Y), or Z7 (frame X).例文帳に追加

上記の収差は、ゼルニケ多項式でＺ２（Ｘの傾斜）、Ｚ３（Ｙの傾斜）、またはＺ７（コマＸ）であるのが好ましい。 - 特許庁

Then, the in-plane inclination Z of the measured line width is decomposed into a plurality of in-plane inclination components Z_i using the Zernike polynominal (S2).例文帳に追加

その測定線幅の面内傾向Ｚがゼルニケ多項式を用いて複数の面内傾向成分Ｚ_ｉに分解される（Ｓ２）。 - 特許庁

The shape of the mirror surface of the deformable mirror 14a is approximately calculated by fourth and fifth terms of a Zernike polynomial.例文帳に追加

形状可変ミラー１４ａのミラー面の形状は、ツェルニケの多項式の第四項と第五項により近似的に算出される。 - 特許庁