automatic astigmatism correctionとは 意味・読み方・使い方

AUTOMATIC FOCUS CORRECTION METHOD AND AUTOMATIC ASTIGMATISM CORRECTION METHOD IN CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE例文帳に追加

荷電粒子ビーム装置における自動焦点補正方法および自動非点補正方法 - 特許庁

METHOD AND DEVICE FOR ASTIGMATISM CORRECTION AND AUTOMATIC ADJUSTMENT OF FOCUS IN CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE例文帳に追加

荷電粒子ビーム装置における非点補正・フォーカスの自動調整方法及び装置 - 特許庁

To enable processing automatic alignment of a charged particle beam column and automatic correction of astigmatism with high accuracy, and in a short time.例文帳に追加

荷電粒子ビームカラムの自動アライメント及び非点収差の自動補正を高精度でかつ短い時間で実施できるようにする。 - 特許庁

To provide a method and a device for performing astigmatism correction and automatic adjustment of focus in a charged particle beam device.例文帳に追加

本発明は荷電粒子ビーム装置における非点補正・フォーカスの自動調整方法及び装置に関し、非点補正・フォーカスの自動調整を行なう方法及び装置を提供することを目的としている。 - 特許庁

A main step of an automation process to be used for auto-focus, namely, automatic focusing and astigmatism correction matches a column after the initial setup.例文帳に追加

本発明によれば、自動焦点、自動コントラスト、ｘ及びｙの両方の方向における非点収差の自動補正は、フォーカス誘起型イメージ回転、サンプル特徴部オリエンテーション及びイメージ変形、フォーカス誘起型イメージ倍率変化と独立的なものであり、且つ種々の種類のノイズに影響を受けることはない。 - 特許庁