beam transport lineとは 意味・読み方・使い方

CHARGED PARTICLE BEAM IRRADIATION APPARATUS, CHARGED PARTICLE BEAM IRRADIATING METHOD, AND METHOD OF ATTACHING AND DETACHING TRANSPORT LINE例文帳に追加

荷電粒子線照射装置、荷電粒子線照射方法、及び輸送ラインの着脱方法。 - 特許庁

Substantial beam loss accompanied with beam deflection from a mass spectrometric analysis electromagnet 3 inlet to a mass spectrometric analysis slit 4 and pressure rise of a beam line in the mass spectrometric analysis magnet in the beam transport section is corrected by estimation from the pressure measured value in the vicinity of wafer region at a further downstream than the mass spectrometric analysis slit is.例文帳に追加

質量分析電磁石３入り口から質量分析スリット４までのビーム偏向及びビーム輸送区間における質量分析磁石内部のビームラインの圧力上昇に伴う実質ビーム損失を、質量分析スリットより下流のウエハ近傍領域の圧力測定値からの推定により補正する。 - 特許庁

An ion beam transport part 5, a conversion electrode 6, and a secondary electron detecting system 7 are arranged so that the incident direction of ion beams incoming in the conversion electrode 6 and a line 75 connecting the center 64 of a secondary electron outgoing opening 63 and the center 73 of a scintillator 71 form an acute angle.例文帳に追加

変換電極６に入射するイオンビームの入射方向と、二次電子出射口６３の中心６４とシンチレータ７１の中心７３とを結ぶ線７５とが、鋭角をなすように、イオンビーム輸送部５，変換電極６および二次電子検出系７は設置されている。 - 特許庁