ビーム輸送ラインの英語

ビームライン上の互いに異なる位置間におけるビーム輸送効率が、ウェハのエネルギーコンタミネーションと互いに関連していることを見出し、エネルギーコンタミネーションが小さくなるように、ビーム輸送効率を調節する。例文帳に追加

Beam transportation efficiency between positions different each other on a beam line is found out to be related to energy contamination of wafer each other and beam transportation efficiency is adjusted so as to reduce energy contamination. - 特許庁

このイオン輸送装置３０においては、多重極磁石３２よりもイオンビームの流れにおける上流側のビームライン３１の周囲に、電子吸収体３３が設置される。例文帳に追加

In the ion transporter 30, an electron absorber 33 is placed around a beam line 31 upstream from multipolar magnets 32 in the flow of the ion beams. - 特許庁

質量分析電磁石３入り口から質量分析スリット４までのビーム偏向及びビーム輸送区間における質量分析磁石内部のビームラインの圧力上昇に伴う実質ビーム損失を、質量分析スリットより下流のウエハ近傍領域の圧力測定値からの推定により補正する。例文帳に追加

Substantial beam loss accompanied with beam deflection from a mass spectrometric analysis electromagnet 3 inlet to a mass spectrometric analysis slit 4 and pressure rise of a beam line in the mass spectrometric analysis magnet in the beam transport section is corrected by estimation from the pressure measured value in the vicinity of wafer region at a further downstream than the mass spectrometric analysis slit is. - 特許庁