ビーム輸送の英語

荷電粒子ビームの輸送範囲及び照射範囲を自在に変化させる。例文帳に追加

To freely change a transportation range and irradiation range of charged particle beams. - 特許庁

安価で単純な構成の静電レンズを用いながらも、長い輸送区間であっても高いビーム利用効率で大電流ビームの輸送が可能なビーム輸送装置を提供する。例文帳に追加

To provide a beam transport apparatus which uses an electrostatic lens of low cost and simple configuration, and transporting a large current beam in high beam utilization efficiency even in a long transportation zone. - 特許庁

ビーム偏向器内部での空間電荷効果によるイオンビームの広がりを抑制し、イオンビームを効率良くターゲットに輸送する。例文帳に追加

To transport an ion beam efficiently to a target by suppressing spread of the ion beam due to space charge effect in a beam deflector. - 特許庁

レーザ光源が、イオン輸送路内に、イオンの輸送方向とは反対の方向に伝搬するようにレーザビームを入射させる。例文帳に追加

A laser beam source allows a laser beam to enter the ion transportation channel so as to be propagated in the opposite direction to the ion transportation direction. - 特許庁

ビームライン上の互いに異なる位置間におけるビーム輸送効率が、ウェハのエネルギーコンタミネーションと互いに関連していることを見出し、エネルギーコンタミネーションが小さくなるように、ビーム輸送効率を調節する。例文帳に追加

Beam transportation efficiency between positions different each other on a beam line is found out to be related to energy contamination of wafer each other and beam transportation efficiency is adjusted so as to reduce energy contamination. - 特許庁

高エネルギービームが、ビーム輸送装置のビーム照射装置１７に導入されるビーム輸送コースの偏向電磁石１２、１３、１５は直列接続され、またビーム照射装置１８に導入されるビーム輸送コースの偏向電磁石１２、１４、１６が直列接続され、負荷切換盤１９を介して偏向電磁石電源２０に接続される。例文帳に追加

Deflecting electromagnets 12, 13, 15 of a beam transportation course of a high energy beam introduced into the beam irradiation device 17 of the beam transportation device are connected in series, also, a deflecting electromagnet 12, 14, 16 of the beam transportation course introduced to the beam irradiating device 18 are connected in series, connected to a deflecting electromagnet power source 20 through a load switching board 19. - 特許庁

ビーム空間電荷を中和してイオンビームの発散を抑え、ビーム輸送効率を向上させてビーム電流を増大させることができるようなビーム空間電荷中和装置を提供する。例文帳に追加

To provide a beam space charge neutralization device capable of increasing a beam current by suppressing the divergence of an ion beam neutralizing beam space charge for improving beam transport efficiency. - 特許庁

イオン注入方法、イオン注入装置及びイオン注入装置用ビーム輸送管例文帳に追加

ION IMPLANTATION METHOD, ION IMPLANTATION DEVICE, AND BEAM TRANSPORT PIPE FOR THE ION IMPLANTATION DEVICE - 特許庁