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意味・対訳カスケード模型

JST科学技術用語日英対訳辞書での「cascade model」の意味

cascade model

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該当件数 : 1件

例文

To provide a control system comprising thermal processing equipment of semiconductor substrates, such as a hybrid cascade MBPC (Model-Based Predictive Control) for a vertical thermal reactor and conventional control system.例文帳に追加

半導体基板の熱的プロセス装置、例えば垂直サーマルリアクタ用のハイブリッドカスケードＭＢＰＣ(Model-Based Predictive Control)および従来の制御系を含む制御システムを提供すること。 - 特許庁

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