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To provide a circulating supply unit of highly clean air prevented from the contamination of the highly clean air discharged from the using equip ment, effectively circulates the highly clean air saving the power for circulating the air, of a simple structure and maintenance free, and the method of circula tion.例文帳に追加
使用設備から排出される高清浄乾燥空気の汚染を防止し、かつ、循環に必要な動力を省いて、効率よく高清浄空気を循環し、また、構造が単純でメンテナンスフリーな高清浄空気の循環供給装置及び方法提供する。 - 特許庁
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