coil gunsとは 意味・読み方・使い方

The electron beams B1, B2 emitted from the electron guns 3A, 3B are bent by a beam bending mechanism 8 so that their irradiation direction toward a substrate 2 coincide with each other, further, made to pass through an alignment coil 9 and an objective lens 10, scanned by a scanning coil 11, and irradiated on the same position of the substrate 2.例文帳に追加

電子銃３Ａ，３Ｂから放出された電子ビームＢ_１，Ｂ_２は、ビーム曲げ機構８によって基板２に対する照射方向が一致するように曲げられ、更にアライメントコイル９及び対物レンズ１０を通り、走査コイル１１により走査されて基板２の同じ位置に照射される。 - 特許庁