depressuredとは 意味・読み方・使い方
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「depressured」を含む例文一覧
該当件数 : 1件
An annular depressured groove 12 is formed outside the wafer-holding part 10a of the wafer tray 1, while a depressure valve 14 is provided on one side part of the wafer tray 10, with the depressurizing valve 14 connected to a vacuum pump 16 through a depressured supply path 15.例文帳に追加
ウエハトレイ１０におけるウエハ保持部１０ａの外側には環状の減圧用凹状溝１２が形成されていると共に、ウエハトレイ１０の一側部には減圧バルブ１４が設けられており、減圧バルブ１４は減圧供給路１５を介して真空ポンプ１６に接続されている。 - 特許庁
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