depressuringとは 意味・読み方・使い方

Since the water in the water passages 23a, 25b of the hydraulic bearing is discharged through the drain port 24d by depressuring and compressed air when the operation of the work chuck rotary table mechanism is stopped for a long period and the inside of the water passage is dried, algae do not grow.例文帳に追加

水静圧軸受の水通路23a,25b内の水は、ワークチャックロータリーテーブル機構の稼動長期停止時は、減圧、圧空でドレン抜口24dより排出され、水通路内は乾燥されるので、藻が発生することはない。 - 特許庁

The mask 109 for exposure having a micro opening pattern is elastically deformed and contacted to or exfoliated from an object 110A to be exposed with the pressurizing and depressurizing operation by a pressurizing and depressurizing means 51, and a controlling means 200 controls the pressurizing and depressurizing operation by the pressuring and depressuring means 51.例文帳に追加

加減圧手段５１により、微小開口パターンを有する露光用マスク１０９を加減圧により弾性変形させて被露光物１１０Ａに接触、又は剥離させると共に、制御手段２００により加減圧手段５１による加減圧動作を制御する。 - 特許庁