diffusion experimentとは 意味・読み方・使い方

According to the method, the shape of a resist pattern being formed on an wafer can be predicted by numerical simulation without requiring any preliminary measurement or experiment for predicting diffusion phenomenon of acid in the heating process of resist following to exposure.例文帳に追加

この結果、レジスト露光後加熱の工程における酸の拡散現象を予測するために予備的な実測実験を行なうことなく、ウェーハ上に形成されるレジストパターン形状を数値シミュレーションにより予測することができる。 - 特許庁

The wind tunnel experiment equipment 1 performs diffusion experiments of a gas G heavier than air discharged from gas generating source 10 arranged on a floor surface 7a of the measuring frame 7, and is characterized by providing a groove 7e on both side sections of the aforementioned floor surface 7a along a longitudinal direction of the measuring frame 7.例文帳に追加

測定胴７の床面７ａ上に配置されたガス発生源１０から吐出された空気よりも重いガスＧの拡散試験を行う風洞試験装置１であって、前記床面７ａの両側部に、前記測定胴７の長手方向に沿って溝部７ｅが設けられていることを特徴とする。 - 特許庁

To provide an apparatus and a method for simulating the shape of a resist pattern and a recording medium in which the shape of a resist pattern being formed on an wafer is predicted by numerical simulation without requiring any preliminary measurement or experiment for predicting diffusion phenomenon of acid in the heating process of resist following to exposure.例文帳に追加

レジスト露光後加熱の工程における酸の拡散現象を予測するために予備的な実測実験を行なうことなく、ウェーハ上に形成されるレジストパターン形状を数値シミュレーションにより予測するレジストパターン形状のシミュレーション装置、シミュレーション方法および記録媒体を提供する。 - 特許庁