dimensionless groupとは 意味・読み方・使い方

The coating liquid for forming an insulating film for a semiconductor device contains an Si atom combined with at least one kind of organic group, and a siloxane polymer whose branching frequency A found by a spectrum observed by small-angle X-ray scattering is within a range of -2.0>A>-2.8 (A is a dimensionless value).例文帳に追加

少なくとも一種類の有機基と結合したＳｉ原子を含み、かつ、Ｘ線小角散乱測定によって観測されるスペクトルより求められるシロキサンポリマーの分岐度数値Ａが −２．０＞Ａ＞−２．８、（Ａ値は無次元）であるシロキサンポリマーを含むことを特徴とする半導体装置用絶縁膜形成用塗布液。 - 特許庁