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dome formationとは 意味・読み方・使い方
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該当件数 : 2件
The body 2 is provided with a gas inlet 8a whereto film formation gas such as SiH4 is introduced and the dome 5 is provided with a gas inlet 8b.例文帳に追加
この胴部２にはＳｉＨ_4等の成膜用ガスが導入されるガス導入口８ａが設けられており、ドーム５には同ガス導入口８ｂが設けられている。 - 特許庁
A vapor depositing source 14 is arranged at the lower part of a vacuum tank 12, a high-frequency ring 16 applied with high-frequency from a high-frequency power source 26 is arranged on the upper part thereof, and moreover, a substrate dome 18 holding a substrate 20 as the object for film formation is arranged on the upper part thereof.例文帳に追加
真空槽１２内の下部に蒸着源１４を配置し、その上部に高周波電源２６からの高周波を印加する高周波リング１６を配置し、さらにその上部には成膜対象である基板２０を保持する基板ドーム１８が配置されている。 - 特許庁
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