e-methaneとは 意味・読み方・使い方

In an exposure method, in an area where at least one optical element is disposed in an exposure device, a gas partial pressure of methane is controlled to be 1.5 E-8 Pa to 1.0 E-2 Pa.例文帳に追加

露光装置内の少なくともひとつの光学素子が設置されている領域において、メタンのガス分圧を１．５Ｅ−８Ｐａ以上１．０Ｅ−２Ｐａ以下に制御することを特徴とする露光方法。 - 特許庁

Under an elevated temperature produced by heat of the generated gas D and additional partial combustion heat of an internal combustion method due to introduction of air F to the gas D, tar vapor E in the generated gas D is reacted with water vapor in the generated gas D, thus being reformed into hydrogen, methane and carbon monoxide, etc.例文帳に追加

そして、生成ガスＤの温度に、空気Ｆ導入による内燃法の部分燃焼の熱を加えた高温のもとで、生成ガスＤ中のタール蒸気Ｅが、生成ガスＤ中の水蒸気と反応して、水素，メタン，一酸化炭素等に改質される。 - 特許庁

This method for producing the propane compound represented by formula (4) (wherein, E^1 to E^4 are each an electron-attracting group or the like) comprises reacting an electron-attracting group-substituted methane compound such as a malonate with an electron-attracting group-substituted vinyl compound such as an acrylate in the presence of a fluoride ion-containing alkyl-substituted imidazolium salt.例文帳に追加

フッ化物イオンを含有するアルキル置換イミダゾリウム塩の存在下に、例えばマロン酸エステル等で例示される電子吸引基で置換されたメタン化合物と、例えばアクリル酸エステル等で例示される電子吸引基で置換されたビニル化合物とを反応させる式（４）（式中、Ｅ^１〜Ｅ^４は、それぞれ電子吸引基等を表す。）で示されるプロパン化合物の製造方法。 - 特許庁