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「elevator furnace」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 4件
The seal cap 219 is lifted by a boat elevator 151, and a treatment furnace 202 is closed by the seal cap 219 (A2).例文帳に追加
シールキャップ219をボートエレベータ151で上昇させて、処理炉202をシールキャップ219で閉塞する(A2)。 - 特許庁
A static eliminator 34 having a plurality of needle electrodes connected to an AC power source 55 and a plus DC power source 56 is disposed nearby a carry-in/out opening of a processing furnace 16 wherein substrates 18 are plasma-processed, and the electrostatically charged substrates 18 carried out of the processing furnace 16 by a boat elevator 22 are discharged.例文帳に追加
基板18にプラズマ処理を行う処理炉16の搬入出口の近傍に、交流電源55および正極の直流電源56を接続した複数の針電極を備えた除電装置34を配置し、ボートエレベータ22により処理炉16から搬出された帯電基板18を除電する。 - 特許庁
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