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At the outside of the vacuum deposition rooms from 12 to 15 and from 22 to 25, ellipsometers 70 for measuring thickness of the vacuum deposition material 56 are respectively installed.例文帳に追加
蒸着室１２乃至１５及び２２乃至２５の外部には、蒸着物５６の膜厚を計測するエリプソメータ７０がそれぞれ設けられる。 - 特許庁
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