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epitaxial planar techniqueとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 エピタキシアルプレナ技術
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該当件数 : 1件
To realize an epitaxial wafer for an HEMT which is more excellent in electrical property than uniform dope and planar dope by inserting a thin layer of a high carrier concentration instead of a planar dope technique which hardly shows characteristics in a compound semiconductor mainly containing nitrogen formed by an MOVPE method.例文帳に追加
ＭＯＶＰＥ法で成長した、窒素を主に含む化合物半導体では特性を出しにくいプレーナードープ技術に代わり、高キャリア濃度の薄層を挿入することにより、均一ドープやプレーナードープよりさらに電気的特性の優れたＨＥＭＴ用エピタキシャルウェハを実現すること。 - 特許庁
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