equivalent defect diameterとは 意味・読み方・使い方

To provide a method for estimating a crystal defect of a large-diameter silicon single crystal capable of estimating a crystal defect of a large-diameter silicon single crystal having a diameter of 450 mm or more at a level equivalent to a small-diameter silicon single crystal having a diameter smaller than this at a low cost and in a short time.例文帳に追加

４５０ｍｍあるいはそれより大径の大口径シリコン単結晶の結晶欠陥を、これより小さな径の小口径シリコン単結晶と同等の水準で、しかも低コストかつ短時間にて推定することができる大口径シリコン単結晶の結晶欠陥推定方法を提供する。 - 特許庁