etchersとは 意味・読み方・使い方

Exhaust gas containing PFC discharged from all etchers in the clean room 2 is supplied into the PFC decomposition device 9 through the duct 7.例文帳に追加

クリーンルーム２内の全てのエッチャーから排出されたＰＦＣを含む排ガスは、ダクト７によってＰＦＣ分解装置９内に供給される。 - 特許庁

A duct 7 connected to all etchers is connected to a PFC (perfluoro compounds) decomposition device 9 installed outside the clean room 2.例文帳に追加

全てのエッチャーに接続されるダクト７は、クリーンルーム２の外に設置されたＰＦＣ分解装置９に接続される。 - 特許庁

To provide a spin etcher adaptable for etching wafers of various diameters without using anything else, whereby the number of the spin etchers is reduced for etching the wafers of various diameter, and the etcher is usable in a narrow installation place at a low equipment cost and is easy to work.例文帳に追加

多種直径のウェハをエッチングするのに１台のスピンエッチャーで対応できるようにし、スピンエッチャーの台数を減ずるとともに、狭い設置場所で安価設備費で対応でき、作業が容易な多種直径ウェハ対応スピンエッチャーを提供する。 - 特許庁