flowing-film concentrationとは 意味・読み方・使い方

To provide a sputtering apparatus for uniformizing a film thickness, film quality and film characteristics, by uniformizing the concentration of a reactive gas flowing along the surface of a target and thereby improving the uniformity of the reaction of the reactive gas with the target, when introducing a sputtering gas and the reactive gas into a vacuum chamber so as to form a film by reactive sputtering.例文帳に追加

スパッタガスと反応性ガスを真空室内に導入して反応性スパッタリングによる成膜を行うとき、ターゲットの表面に沿って流れる反応性ガスの濃度を均一にして、反応性ガスとターゲットの反応の均一化を高め、膜厚、膜質、膜特性を均一化できるスパッタリング装置を提供する。 - 特許庁

In this way, since the path of the current flowing through the contacted part 30 is secured sufficiently, the concentration of the current in the bent part 13 is prevented when performing welding by holding the square electric wire 20 with the film between the base part 11 and the folded part 12.例文帳に追加

これにより接触部３０に流れる電流路を十分に確保することができるため、基部１１と折り返し部１２との間に被膜付角型電線２０を挟んで溶接する際に、屈曲部１３への電流の集中を防止することができる。 - 特許庁