geonsとは 意味・読み方・使い方

The magnetic film or the diamagnetic film is etched in a plasma atmosphere in which at least one gasification compound selected from a group of gasification compounds consisting of hydrocarbons, alcohols, ethers, aldehydes, carboxylic acids, esters and geons is formed under condition that the particle flow rate is at least 0.5×10^17 molecular number/min/m^2 and preferably at least 2×10^17 molecular number/min/m^2.例文帳に追加

炭化水素類、アルコール類、エーテル類、アルデヒド類、カルボン酸類、エステル類及びジオン類からなるガス化化合物群から選択された少なくとも一種のガス化化合物を０．５×１０^１７分子数／分・ｍ^２以上、好ましくは２×１０^１７分子数／分・ｍ^２以上の分子流速の条件下において形成したプラズマ雰囲気下で、磁性膜又は反磁性膜をエッチングする。 - 特許庁

The total number of carbon atoms Cn and the total number of oxygen atoms On in a mixed gas of at least one compound gas selected from a group of compound gases consisting of gases of hydrocarbons, alcohols, ethers, aldehydes, carboxylic acids, esters and geons with oxygen gas meets a relation On/Cn>1 and the magnetic material layer or the diamagnetic material layer is etched in a plasma atmosphere formed with the mixed gas.例文帳に追加

炭化水素類ガス、アルコール類ガス、エーテル類ガス、アルデヒド類ガス、カルボン酸類ガス、エステル類ガス及びジオン類ガスからなる化合物ガス群から選択された少なくとも一種の化合物ガス、及び酸素ガスを有する混合ガス中の全炭素原子数Ｃｎと全酸素原子数ＯｎとがＯｎ／Ｃｎ＞１の関係を満たし、該混合ガスを用いて形成したプラズマ雰囲気下で、磁性体層又は反磁性体層をエッチングする。 - 特許庁