heat-treated structuresとは 意味・読み方・使い方

To enable intra-plane uniform heating when applying heat treatment through a light-irradiating wafer heater to a wafer to be treated, with which the structures of different light absorption quantities such as fine/coarse patterns, layouts and laminated structures are mixed.例文帳に追加

パターンの疎密やレイアウト、積層構造などの光吸収量の異なる構造が混在する被処理基板を、光照射基板加熱装置にて加熱処理する際に、面内均一に加熱するを可能にする。 - 特許庁