heat‐treated thin filmの英語

A crystalline piezoelectric thin film obtained by heating a board is oxidized, and is thereafter heat-treated for its stabilization.例文帳に追加

基板加熱により得られる結晶性圧電薄膜に対し、酸化処理を行い、その後安定化のための熱処理を行う。 - 特許庁

A SiN thin film 15 is formed on a Cu wiring 14 and heat-treated in an atmosphere, including an oxidation species and an reduction species.例文帳に追加

Ｃｕ配線１４上にＳｉＮ薄膜１５を形成した後、酸化種および還元種を含む雰囲気中で熱処理を行う。 - 特許庁

The energy of the laser light is absorbed mainly in a substrate and the thin film is heat-treated by the heat generated by the absorbed energy.例文帳に追加

前記レーザ光は、主に基板においてそのエネルギーが吸収され、その吸収されたエネルギーによる熱で、薄膜を熱処理する。 - 特許庁

A Ge thin film is formed on an Si (100) substrate 1 and heat treated to form a solid phase mixed layer 12 including Si and Ge.例文帳に追加

Ｓｉ（１００）基板１上にＧｅ薄膜を形成し、熱処理を施して、ＳｉとＧｅとを含有する固相混合層１２を形成する。 - 特許庁

A thin film containing a component suitable for the optical integrated circuit such as an optical switch for controlling an optical path is stuck onto a material such as glass and the stuck thin film is irradiated with light such as laser light to form a predetermined heat-treated phase in the thin film.例文帳に追加

光スイッチ等の光路制御用の光集積回路に適する成分を含む膜をガラス等の材料の上に付け、薄膜の上からレーザ等による光を照射して、薄膜の中に所定の熱処理相を形成する。 - 特許庁

Nickel and silicon are simultaneously sputtered and deposited and they are heat-treated to fix an NiSi_2 thin film on a surface of a base material, and a sulfide thin film is fixed on this surface.例文帳に追加

ニッケルとシリコンを同時にスパッタ堆積し、これを熱処理することでＮｉＳｉ_２薄膜を基材表面に固定化し、この表面に硫化物薄膜を固定化させる。 - 特許庁

Alternatively, metal chemical species to become a silicification compound are simultaneously sputtered and deposited and are heat-treated to fix a metal silicide thin film on a surface of a base material, and a sulfide thin film is fixed on a surface thereof.例文帳に追加

あるいは、珪化化合物となる金属化学種を同時にスパッタ堆積し、これを熱処理することで金属珪化物薄膜を基材表面に固定化し、この表面に硫化物薄膜を固定化させる。 - 特許庁

To perform a laser beam machining by homogenizing the distribution of light intensity when a work which is a semiconductor substrate on which a thin film is vapor deposited is heat treated via the thin film with a laser beam.例文帳に追加

薄膜蒸着された半導体基板を被加工物とし、レーザにより薄膜を介して熱処理する場合などにおいて、光強度分布を均一化してレーザ加工を行う。 - 特許庁