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To provide a bonding tool and an electronic component bonding apparatus wherein the horizontal miniaturization of the bonding tool is achieved, and vibration other than vibration (longitudinal vibration) parallel with the shaft center of a horn is suppressed, and further, attaching accuracy and rigidity are highered.例文帳に追加
水平方向の小型化を達成するとともに、ホーンの軸心に平行な振動（縦波の振動）以外の振動の発生を抑制し、取り付け精度が高く、且つ高剛性からなるボンディングツールおよび電子部品の接合装置を提供することを目的とする。 - 特許庁
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higher
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