hydrogen coverageとは 意味・読み方・使い方

To provide a film forming method capable of preventing hydrogen from being discharged or transmitted, and forming a protecting film whose coverage is further satisfactory.例文帳に追加

水素の放出或いは透過を防止し、かつより一層カバレージのよい保護膜を形成することができる成膜方法を提供する。 - 特許庁

Accordingly, the hydrogen barrier film 17 and the barrier metal 28 can be formed to have substantially the same thickness on the electrode upper layer 16, and the failure in coverage of a film on the upper electrode 14 can be prevented.例文帳に追加

したがって、電極上層１６上で水素バリア膜１７およびバリアメタル２８をほぼ均一な厚さに形成することができ、上部電極１４上での膜のカバレッジ不良の発生を防止することができる。 - 特許庁

To provide a semiconductor device capable of preventing failure in coverage of a film on an electrode when the film (hydrogen barrier film, barrier metal) is formed on the electrode; and to provide a method of manufacturing the same.例文帳に追加

電極上に膜（水素バリア膜、バリアメタル）が形成される場合に、電極上での膜のカバレッジ不良の発生を防止することができる、半導体装置およびその製造方法を提供する。 - 特許庁

To form a conductive hydrogen barrier film with excellent step coverage in a via hole for exposing an upper electrode of a ferroelectric capacitor constituting an FeRAM, and to suppress reduction of a ferroelectric film in burying it with a tungsten film by a CVD method.例文帳に追加

ＦｅＲＡＭを構成する強誘電体キャパシタの上部電極を露出するビアホールに、優れたステップカバレッジで導電性水素バリア膜を形成し、タングステン膜により、ＣＶＤ法で埋め込む際の強誘電体膜の還元を抑制する。 - 特許庁