imperfect alignmentとは 意味・読み方・使い方

To prevent imperfect alignment of a cylinder of a cryogenic refrigerator when assembling the cylinder inside a case.例文帳に追加

極低温冷凍機のシリンダーをケースの内部に組立てる際、該シリンダーの軸ずれを防止すること。 - 特許庁

The imperfect shot exposure system 40A irradiates the second region on the wafer W2 held by the wafer stage WST2 with the exposure light ILA, during the detection of the mark by the alignment sensor 26.例文帳に追加

欠けショット露光系４０Ａは、アライメントセンサ２６によるマークの検出動作中に、ウエハステージＷＳＴ２に保持されるウエハＷ２上の第２領域に露光光ＩＬＡを照射する。 - 特許庁