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inletportとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 吸気ポート; 吸込口; 入口; 吸気口
「inletport」を含む例文一覧
該当件数 : 1件
The treatment chamber 1 is provided with a wafer support pedestal 11, a wafer 12, a purge gas inlet port 13, an evacuation port 14, a temperature sensor 15, a rotary shaft part 16, a bearing part 17, a motor part 18 and a counter purge gas inletport 19.例文帳に追加
処理チャンバ1にはウェハ支持ペデスタル11、ウェハ12、パージガス導入口13、排気口14、温度センサ15、回転軸部16、軸受け部17、モータ部18、及びカウンタパージガス導入口19が設けられる。 - 特許庁
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