intermixing of materialとは 意味・読み方・使い方

To provide a gap filling material for lithography excellent in property of flattening a substrate with protrusions and recessions such as holes and trenches, causing no intermixing with a resist layer and having dry etching speed larger compared with that of the resist.例文帳に追加

ホールやトレンチなどの凹凸のある基板上の平坦化性に優れ、レジスト層とのインターミキシングが起こらず、レジストに比較して大きなドライエッチング速度を有するリソグラフィ用ギャップフィル材を提供する。 - 特許庁

To provide an antireflection film material that prevents intermixing in the vicinity of an interface of an antireflection film and a photoresist film and provides a resist pattern with an almost vertical wall profile on the antireflection film and reduces damages in an underlying layer of the antireflection film.例文帳に追加

反射防止膜とフォトレジスト膜の界面付近のインターミキシングの発生を抑制でき、また、反射防止膜の上のレジストパターンをほぼ垂直形状にすることができ、さらに、反射防止膜の下層のダメージを低減することができる反射防止膜材料を提供する。 - 特許庁