irregulari tiesとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 irregularityの複数形。不規則、 変則
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該当件数 : 1件
To provide a uniform processing by allowing a substrate to be held by a substrate-holding means, allowing free sliding for rotation, so that irregulari ties in processing caused by supporting of the substrate is prevented.例文帳に追加
基板は基板保持手段に摺動自在に保持させ回転させることにより、基板の支持に起因する処理ムラを防止して均一な処理を施すことができる。 - 特許庁
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