lithography toolsとは 意味・読み方・使い方

A lithography bay 300 for small lot size includes (1) a plurality of lithography tools 314 to 328, and (2) a conveying system 330 for small lot size which is adapted to convey substrate carriers for small-lot size to the lithography tools 314 to 328.例文帳に追加

小ロットサイズのリソグラフィーベイ３００は、（１）複数のリソグラフィーツール３１４〜３２８と、（２）小ロットサイズの基板キャリアをリソグラフィーツール３１４〜３２８へ搬送するように適応された小ロットサイズの搬送システム３３０とを備えている。 - 特許庁

The radiation beam measurement systems and methods are applicable to both mask-based and maskless lithography tools.例文帳に追加

この放射ビーム測定システムおよび方法は、マスクを用いたリソグラフィツールおよびマスクレスリソグラフィツールの両方に適用可能である。 - 特許庁

To provide a system, as well as its method, that performs real-time monitoring and/or diagnosis of tools' performance as to system deterioration of a lithography apparatus before detecting defects at the end product stage.例文帳に追加

最終製品で欠陥が検出される前に、リソグレフィ装置のシステム低下についてリアルタイムでツールの性能を監視かつ／または診断するシステムおよび方法を提供する。 - 特許庁

To provide an apparatus for forming a three-dimensional image and a method for forming a three-dimensional image by which stereo lithography can be simply performed at a site where numerical value controlling machine tools, etc., are diffused without using a three-dimensional CAD being an expensive installation, etc.例文帳に追加

高価な設備である３次元ＣＡＤ等を用いることなく、数値制御工作機械等の普及した現場で光造形を簡単に行うことができる立体像形成装置及び立体像形成方法を提供する。 - 特許庁