marginal doseとは 意味・読み方・使い方

The marginal dose DL of resist used as a mask in the ion implantation is calculated.例文帳に追加

イオン注入においてマスクとして用いるレジストの限界ドーズ量ＤＬを算出する。 - 特許庁

The calculated marginal dose DL is compared with the amount of implantation of dose in the ion implantation, whereby the residue of resist generated upon resist-removing process or the resist-removing capability is evaluated.例文帳に追加

算出された限界ドーズ量ＤＬとイオン注入における注入ドーズ量とを比較することにより、レジスト除去工程で生じるレジスト残り、つまりレジスト除去能力を評価する。 - 特許庁

To provide charged-particle beam irradiation equipment which can easily suppress unevenness and deterioration in marginal sections in dose distributions of a charged-particle beam.例文帳に追加

荷電粒子線の線量分布における辺縁部のむらや低下を簡易に抑制することができる荷電粒子線照射装置を提供する。 - 特許庁

In the charged-particle beam irradiation equipment 1, the controller 6 modifies a scanning speed in the irradiation of an object with the charged-particle beam R along an irradiation line so as to compensate the marginal sections in the dose distributions of the charged-particle beam R.例文帳に追加

荷電粒子線照射装置１では、制御装置６が、照射ラインに沿って荷電粒子線Ｒを照射するときの走査速度を、荷電粒子線Ｒの線量分布における辺縁部が補正されるように変更する。 - 特許庁