measured surface profile dataとは 意味・読み方・使い方

To automate or semi-automate working for assigning the range used for calculating a geometrical properties of the profile shape from among shape measured data, when calculating the geometrical properties of the profile shape, using the shape measured data of the measured profile shape formed on a surface of an object to be measured.例文帳に追加

被測定物の表面に形成された輪郭形状を測定した形状測定データを用いて、当該輪郭形状の幾何学的性状を算出する際に、形状測定データのうちから、当該輪郭形状の幾何学的性状の算出に使用する範囲を指定する作業を自動化ないし半自動化する。 - 特許庁

By removing the resonance frequency calculated from the shape data, the surface profile of the sample can be measured with high precision.例文帳に追加

この形状データから算出した共振周波数を除去することで、高精度な表面形状測定が可能となる走査型プローブ顕微鏡。 - 特許庁

In this shape evaluation method for the semiconductor wafer for evaluating the shape of the semiconductor wafer, a shape data of the semiconductor wafer is measured by scanning a surface and/or a reverse face of the wafer, the measured shape data is differentiation-processed to calculate a differential profile, and the shape of the semiconductor wafer is evaluated by analyzing the resulting differential profile to find a surface characteristic of the wafer.例文帳に追加

半導体ウエーハの形状を評価する半導体ウエーハの形状評価方法であって、半導体ウエーハの表面及び／または裏面を走査して半導体ウエーハの形状データを測定し、測定した形状データを微分処理して微分プロファイルを算出し、得られた微分プロファイルの解析を行ってウエーハの表面特性を求めることにより半導体ウエーハの形状を評価することを特徴とする半導体ウエーハの形状評価方法。 - 特許庁