mems technologyとは 意味・読み方・使い方

To provide a package technology for sealing an MEMS device hermetically so that the MEMS device can be built in a CMOS circuit.例文帳に追加

ＭＥＭＳデバイスがＣＭＯＳ回路等組み込むことができるように、ＭＥＭＳデバイスを気密にシールするパッケージ技術を提供すること。 - 特許庁

The inventive package technology can be employed for packaging an MEMS device according to a conventional CMOS package technology.例文帳に追加

本発明のパッケージ技術は、従来のＣＭＯＳパッケージ手順がＭＥＭＳデバイスをパッケージするのに用いることができるようにする。 - 特許庁

To provide a manufacturing technique providing a smaller and higher density integrated MEMS (Micro Electro Mechanical System) in integrated MEMS manufacturing technology for integrating a semiconductor integrated circuit and MEMS.例文帳に追加

半導体集積回路とＭＥＭＳとを集積化した集積化マイクロエレクトロメカニカルシステム製造技術において、より小型で高密度集積可能なＭＥＭＳを製造できる技術を提供する。 - 特許庁

Since the optical switch can be manufactured by utilizing MEMS technology of high processing accuracy, the characteristic variations can be suppressed.例文帳に追加

加工精度が高いＭＥＭＳ技術を利用して作製できるので、特性ばらつきを抑制できる。 - 特許庁

To provide a method for forming MEMS/NEMS made of monocrystalline silicon using SOI technology.例文帳に追加

単結晶シリコンでできたＭＥＭＳ／ＮＥＭＳをＳＯＩ技術を利用して形成する方法を提供する。 - 特許庁

To provide a technology capable of restricting that a movable section composing micro-electromechanical system (MEMS) is firmly fixed to other members.例文帳に追加

ＭＥＭＳを構成する可動部がその他の部材に固着することを抑制できる技術を提供する。 - 特許庁

PROCESS FOR MANUFACTURING INTEGRATED MEMBRANE OF NOZZLES IN MEMS TECHNOLOGY FOR SPRAY DEVICE AND SPRAY DEVICE USING THE INTEGRATED MEMBRANE例文帳に追加

ＭＥＭＳによるスプレイ装置用ノズル集積膜の製造方法、及び該ノズル集積膜を含むスプレイ装置 - 特許庁

To provide an antenna system provided with a plurality of MEMS (Micro-Electro Mechanical Systems) switches adopting a MEMS technology that uses the MEMS switches and a plurality of micro conductive patches and varies the size and the shape of an antenna so as to vary the operating frequency thereby easily controlling the MEMS switches.例文帳に追加

ＭＥＭＳ技術を適用したＭＥＭＳスイッチを複数具備するアンテナ装置において、複数のＭＥＭＳスイッチと、複数の微小パッチ導体とを用いて、アンテナの大きさや形状を可変することにより動作周波数を可変でき、ＭＥＭＳスイッチの制御が容易であるアンテナ装置を得る。 - 特許庁