obscuratedとは 意味・読み方・使い方

To provide a device which allows for execution of precision measurement of an optical system for image formation when the limit of resolution depends on the position and orientation of an image formation structure in an obscuration optical system, and to provide a projection exposure device having this method, its method and a sensor unit.例文帳に追加

掩蔽（obscurated：オブスキュレーション）光学系において、分解能の限界が結像構造の位置及び配向に応じて変わる場合、結像光学系の精密測定の実行を可能にするデバイス、このデバイスを有する投影露光装置、その方法、センサユニットとを提供する。 - 特許庁