outer cone distanceとは 意味・読み方・使い方

By preparing a cone portion 13 between a flange 14 and a body portion 12 for attaching the outer tube 10 to a manifold 40, making an inner diameter of the body portion 12 smaller, and making a distance shorter from the boat 30 holding wafers, uniformity of dopant concentration and uniformity of the film thickness are improved.例文帳に追加

アウターチューブ１０をマニホールド４０に取り付けるフランジ１４と胴体部１２との間に円錐部１３を設けて、胴体部１２の内径を小さくして、ウェーハを保持するボート３０との距離を短くすることにより、ドーパント濃度均一性、膜厚均一性の向上を図る。 - 特許庁