plasma sprayed oxideとは 意味・読み方・使い方

When a sprayed coating comprising either alumina, a rare earth oxide, polyimide or polybenzimidazole that covers the surface of a substrate of member inside a plasma treatment container becomes degraded through its use in a plasma environment, materials same as that composing the sprayed coating is resprayed over the degraded sprayed coating.例文帳に追加

基材の表面がアルミナ，希土類酸化物，ポリイミドまたはポリベンゾイミダゾールのうちのいずれかの溶射膜によって被覆されたプラズマ処理容器の内部の部材の，プラズマ中での使用により劣化した溶射膜に，前記溶射膜と同一の材料を再溶射する。 - 特許庁

The manufacturing method of the gas detecting element 1 for detecting the volatile organic compound is characterized by including a process of thermally spraying the metallic oxide on the base board 10 by the high frequency inductive plasma thermal spraying method and a process of heat-treating this thermally sprayed metallic oxide.例文帳に追加

揮発性有機化合物を検知するガス検知素子１の製造方法は、高周波誘導プラズマ溶射法により基板１０上に金属酸化物を溶射する工程と、この溶射された金属酸化物を熱処理する工程とを含んでなることを特徴とする。 - 特許庁

This gas detecting element 1 detects the volatile organic compound, and includes the base board 10 and a gas sensitive part 30 mainly composed of a metallic oxide arranged on the base board; and is characterized by heat-treating the metallic oxide after being thermally sprayed by a high frequency inductive plasma thermal spraying method.例文帳に追加

揮発性有機化合物を検知するガス検知素子１は、基板１０と、前記基板上に設けられた金属酸化物を主成分とするガス感応部３０とを含んでなり、前記金属酸化物が、高周波誘導プラズマ溶射法により溶射された後、熱処理されたものであることを特徴とする。 - 特許庁