plasma sprayed ceramicとは 意味・読み方・使い方

To provide a plasma resistant ceramic sprayed coating which is an yttria ceramics based sprayed coating used for a plasma treatment apparatus member for fabricating a semiconductor, a liquid crystal or the like, wherein impurity metal contamination caused by the component raw materials of the ceramics is suppressed in a halogen prazma process.例文帳に追加

半導体・液晶製造用等のプラズマ処理装置部材に用いられるイットリアセラミックス系溶射膜であって、ハロゲンプラズマプロセスにおいて、該セラミックスの構成原料に起因する不純物金属汚染を抑制することができる耐プラズマ性セラミックス溶射膜を提供する。 - 特許庁

At least in a part of the wall surface of a curing furnace 1 for the uncured thermosetting resin or the wall surface of a holding member 9 (Fig. 2 shows entire wall face of holding member 9), a wall surface plasma- sprayed with ceramic powder (not shown in Fig.) is formed, and far-infrared rays are shined from the surface plasma-sprayed with the ceramic powder.例文帳に追加

未硬化の熱硬化性樹脂の硬化炉１の壁面又は前記未硬化の熱硬化性樹脂を配置する保持具９の壁面の少なくとも一部に、セラミック粉体（図示せず）をプラズマ溶射した壁面（図２は保持具９の壁面全部）を形成し、該セラミックプラズマ溶射面から遠赤外線を放射させるようにした。 - 特許庁

A coating material 32 such as ceramic or a high temperature polymer is plasma-sprayed to the surface of the component.例文帳に追加

プラズマ処理チャンバに用いられる構成部品を、洗浄し、ポリマーの付着を促進する表面粗さに粗面化し、セラミック又は高温ポリマー等の被覆材料３２を構成部品の面上にプラズマ溶射する。 - 特許庁

To overcome the problem that when an electrostatic chunk made of sprayed ceramic which is subjected to sealing processing by a silicon resin is used to apply high frequency power to a wafer in a high vacuum area (for example 100m Torr) for plasma processing, as the applied time of high frequency power, extends surface temperature of the wafer under plasma processing gradually drops lower than the initial surface temperature with time.例文帳に追加

シリコーン樹脂によって封孔処理を行ったセラミック溶射製の静電チャックを用いて高真空領域（例えば、１００ｍＴｏｒｒ）で高周波電力を印加してウエハＷのプラズマ処理を行っていると、図７の に示すように高周波電力の印加時間が長くなるに連れてプラズマ処理中のウエハ表面温度が初期の表面温度から経時的に徐々に低下する。 - 特許庁

A lower electrode 1 arranged parallel to an upper electrode and generating plasma between it and the upper electrode is formed of a center coating film 20 of which center part of the surface of the electrode is composed of a metal or an alloy consists essentially of aluminum, body 2 and the peripheral part of the surface of the electrode body 2 is formed of a peripheral coating film 19 composed of ceramic melt-sprayed coating.例文帳に追加

上部電極１０に対し平行に配置して上部電極１０との間にプラズマを発生させるための下部電極１１を、電極本体２の表面中央部がアルミニウムを主成分とする金属または合金からなる中央被覆膜２０で形成され、電極本体２の表面周辺部がセラミック溶射膜からなる周辺被覆膜１９で形成された構成とする。 - 特許庁