plasmalとは 意味・読み方・使い方

The tantalum aluminum film is vapor grown by a plasmal flow containing deposition species of the tantalum formed by reducing gaseous tantalum halide by hydrogen active species and DMAH (Dimethylaluminum hydride) or the tantalum nitride aluminum film is vapor grown by a plasmal flow containing the deposition species of the tantalum nitride formed by reducing the gaseous tantalum halide by the hydrogen active species and the DMAH.例文帳に追加

本発明は、タンタルハロゲン化物ガスを水素活性種で還元して生成したタンタルの成膜種を含むプラズマ流とＤＭＡＨとによりタンタルアルミ膜を気相成長させ、又はタンタルハロゲン化物ガスを水素活性種、窒素活性種と反応させて生成した窒化タンタルの成膜種を含むプラズマ流とＤＭＡＨとにより窒化タンタルアルミ膜を気相成長させる。 - 特許庁

The wire 12 is grounded and the high-frequency electric power is supplied between the wire 12 and the plasma generation chamber to make the gas for plasma into plasma in the plasmal generation chamber, thereby washing the wire 12.例文帳に追加

ワイヤ１２は接地されており、ワイヤ１２とプラズマ発生チャンバとの間に高周波電力を通電してプラズマ発生チャンバ内部でプラズマ用ガスをプラズマ化してワイヤ１２の洗浄を行う。 - 特許庁