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To provide a semiconductor tester that does not have the risk of damaging a DUT, since pulse signals within the semiconductor tester are prevented from being sent out to the DUT side, even if only semiconductor relays are used as relays on a route from a pin electronics part to the DUT.例文帳に追加
ピンエレクトロニクス部からＤＵＴに至る経路のリレーを半導体リレーのみにしても、半導体試験装置内部のパルス信号がＤＵＴ側に送出されることはなく、ＤＵＴを破損する恐れのない半導体試験装置を提供すること。 - 特許庁
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