rare gas glow dischargeとは 意味・読み方・使い方

Pressure of rare gas for glow discharge start-up in discharge gas is preferred to be 101×10^3 Pa(760 torr) or less and a solid angle of the tip of the cathode is preferred to be 50° or more.例文帳に追加

放電ガス中のグロー放電開始用希ガスの圧力は１０１×１０^3Ｐａ（７６０ｔｏｒｒ）以下するのが好ましく、又陰極の先端立体角は５０°以上とするのが好ましい。 - 特許庁

A rare gas and a reactive gas are introduced into the respective reaction vessels 1 as the gases for plasma generation, and further, glow discharge is generated inside the respective reaction vessels 1 under the pressure in the vicinity of the atmospheric pressure.例文帳に追加

希ガスと反応性ガスをプラズマ生成用ガスとして各反応容器１に導入すると共に大気圧近傍の圧力下で各反応容器１内にグロー放電を発生させる。 - 特許庁

To stably form plasma while reducing the usage of rare gas such as gaseous helium, and other gases permitting a glow discharge under the atmospheric pressure.例文帳に追加

ヘリウムガスなどの希ガスやその他の大気圧下でのグロー放電が可能なガスの使用量を削減しつつ安定にプラズマを生成することを目的としている。 - 特許庁

The oxygen introduced Al thin film 12a is deposited by using a physical vapor deposition method utilizing glow discharge using a pure Al target, and controlling an oxygen flow rate with respect to a rare gas flow rate in its deposition atmosphere.例文帳に追加

酸素導入Ａｌ薄膜１２ａは、純Ａｌターゲットを用い、グロー放電を利用した物理蒸着法を用い、その成膜雰囲気において希ガス流量に対して酸素流量を制御することにより成膜される。 - 特許庁

As a gas for plasma generation, a rare gas and a reactive gas are introduced into the reaction container 1 and at the same time a.c. or pulsed voltage is applied to electrodes 3, 4 to generate glow electric discharge in the reaction container 1 under approximately the atmospheric pressure.例文帳に追加

希ガスと反応性ガスをプラズマ生成用ガスとして反応容器１に導入すると共に電極３、４間に交流又はパルス状の電圧を印加することによって大気圧近傍の圧力下で反応容器１内にグロー放電を発生させる。 - 特許庁