reactor coolant loopとは 意味・読み方・使い方

In transferring heat from or to a workpiece supporter in a high-frequency coupled plasma reactor, this method includes: placing a coolant in an internal flow channel provided in the workpiece supporter; and transferring the heat from or to the coolant by circulating the coolant through a refrigeration loop in which the internal flow passage of the workpiece supporter constitutes an evaporator of the refrigeration loop.例文帳に追加

高周波結合プラズマリアクタにおいて、被加工物支持体から、又は、該支持体へ熱を伝達するに当たり、該被加工物支持体内に設けられている内部流路内に冷却剤を配置することと、該被加工物支持体の該内部流路が冷却ループの蒸発器を構成する該冷却ループを介して該冷却剤を循環させることにより、該冷却剤から、又は、該冷却剤へ熱を伝達させることとを含む。 - 特許庁