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rechuckingとは 意味・読み方・使い方
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「rechucking」を含む例文一覧
該当件数 : 1件
To carry out completely both rough grinding and polishing required for an edge of a work by one chucking action on one work installing base, to eliminate accumulation of errors in centering of the work caused by rechucking, and to evenly and uniformly finish polishing, which is highly accurate and generates extreme smoothness mainly for a semiconductor wafer such as a silicon wafer.例文帳に追加
１箇所のワーク取付け台における１回のチャッキング動作でワークのエッジに必要とされる粗研削及び研摩加工をすべて行うことができ、チャッキングのやり直しによるワークのセンタリングの誤差の累積をなくして、主としてシリコンウェーハ等の半導体ウェーハについて、高精度かつむらなく均一でしかも極めて平滑度の高い仕上げ研摩ができるようにする。 - 特許庁
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rechuck
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