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Subsequently the substrate 1 is cooled to generate condensation (condensation of atmosphere), which makes a plurality of the film precursors 4 absorb moisture and swell to unite the film precursors 4 into a predetermined pattern, and then the film precursors 4 are redried to form the film pattern 2.例文帳に追加
次いで、基板１を冷却し、結露を発生（雰囲気を凝縮）させて、複数の膜前駆体４を吸湿膨潤させることにより、所定のパターンに合体させた後、再乾燥させて、膜パターン２を形成する。 - 特許庁
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