revolatilizedとは 意味・読み方・使い方

A fluorine-containing gas is injected into a pump pressure-feeding system or a pump pressure-feeding and reducing system in a form where process by-products are kept to be volatile, and the deposition of undesirable by-products in a pump and a system feed line is prevented or is substantially eliminated, and further, optional depositions often formed on the surfaces at the insides of the pump and system feed line are revolatilized.例文帳に追加

プロセス副産物を揮発性に保ち、ポンプ及びシステム供給ライン中の望ましくない副産物堆積を防ぐかまたは実質的に無くすような、また、ポンプ及び供給ライン内部の表面に形成されることがある任意の堆積物を再揮発するような様式で、フッ素を含むガスを、ポンプ送圧システム、またはポンプ送圧及び低減システム中に注入する。 - 特許庁