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route setterとは 意味・読み方・使い方
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該当件数 : 2件
In the cooling part 23, a cooling means 26 is provided only below a carrying route 25 of the setter and substrate to gradually cool the substrate.例文帳に追加
そして、冷却部において、セッター及び基板の搬送経路２５の下方のみに冷却手段２６を設けて基板を徐冷する。 - 特許庁
A passage location setter 24 sets the passage location of a robot 11 based on graphic data 25, location region information 36 and a graphic route pattern 37.例文帳に追加
通過位置設定部２４は、図面データ２５と、位置領域情報３６と、図形ルートパターン３７とに基づいてロボット１１の通過位置を設定する。 - 特許庁
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