soft X‐ray laserの英語

To provide a multi-layer film reflecting mirror comprising a high reflectivity for soft X-ray region, especially laser plasma X-ray which uses Xe as a target comprising peak wavelength of 10.9 nm.例文帳に追加

軟Ｘ線領域、特に、ピーク波長10.9nmを有するターゲットにＸｅを用いたレーザープラズマＸ線において高い反射率を有する多層膜反射鏡の提供。 - 特許庁

A plasma 3 is generated by irradiating it with pulse laser light 2, and a soft X-ray is emitted from the plasma 3.例文帳に追加

それにパルスレーザー光２を照射することによりプラズマ３が発生し、プラズマ３から軟Ｘ線が放出される。 - 特許庁

To make it possible to heighten the intensity of a beam containing soft X rays as excitation laser light and a higher-order harmonics wave, and eliminate the fear of the deformation of the profile of an extracted soft X-ray beam when the soft X rays are extracted from the beam containing them as the excitation laser light and the higher-order harmonics wave.例文帳に追加

励起レーザー光と高次高調波として軟Ｘ線を含むビームから軟Ｘ線を取り出す際に、励起レーザー光と高次高調波として軟Ｘ線を含むビームの強度を強くすることができるようにし、また、取り出した軟Ｘ線のビームのプロファイルを変形する恐れがないようにする。 - 特許庁

Between the FFU 34 and the substrate transfer unit, a soft X-ray laser light emitter 52 and a flow straightening plate 51 are disposed, which ionize fresh air to neutralize the charged particles and capture the remaining charged particles.例文帳に追加

ＦＦＵ３４と基板搬送部との間に軟Ｘ線レーザ光照射装置５２及び整流板５１が配置されており、これによって大気をイオン化して帯電したパーティクルを除電し、残留する帯電したパーティクルを捕集する。 - 特許庁

The intensity distribution of the soft X-ray generated from the plasma 5 becomes nearly symmetric with respect to the optical axis of the pulse laser light 3 and the light axis agrees with the symmetry axis of the multilayer film paraboloid-of-revolution mirror 6 so that the parallel flux 7 formed after reflecting the multilayers film paraboloid-of-revolution mirror 6 has nearly axisymmetric intensity distribution.例文帳に追加

プラズマ５から発する軟Ｘ線の強度分布は照射したパルスレーザー光３の光軸に対してほぼ対称となり、この光軸は多層膜回転放物面鏡６の対称軸と一致しているので、多層膜回転放物面鏡６で反射した後に形成される平行光束７も、ほぼ軸対称の強度分布を持つ。 - 特許庁