spatial datumとは 意味・読み方・使い方

The method includes steps for: interferometrically profiling a first surface of the test object with respect to a first datum surface; interferometrically profiling a second surface of the test object with respect to a second datum surface different from the first datum surface; providing a spatial relationship between the first and second datum surfaces; and calculating the geometric property based on the interferometrically profiled surfaces and the spatial relationship between the first and second datum surfaces.例文帳に追加

この方法は、第１基準面に対して、試験対象物の第１表面を干渉法によってプロファイルする工程と、第１基準面とは異なる第２基準面に対して、試験対象物の第２表面を干渉法によってプロファイルする工程と、第１基準面と第２基準面との間の空間的関係を提供する工程と、干渉法によってプロファイルした表面、並びに第１基準面と第２基準面との間の空間的関係に基づいて、試験対象物の幾何学的特性を計算する工程とを含む。 - 特許庁

The imaging system is capable of spatially locating a datum mark on the sample and determining a spatial offset value of the mark relative to a nominal position thereof.例文帳に追加

上記画像生成システムは、上記サンプル上の基準マークの空間的位置を配置し、上記マークの公称位置に対する上記マークの空間オフセット値を判定することができる。 - 特許庁

To determine a geometric property of a test object based on a spatial relationship between first and second datum surfaces in addition to interferometrically profiling a first and second surface of the test object.例文帳に追加

試験対象物の第１及び第２表面を干渉法によってプロファイルすることに加えて、第１基準面と第２基準面との間の空間的関係に基づき、試験対象物の幾何学的特性を測定する。 - 特許庁