sub- micro meterとは 意味・読み方・使い方
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該当件数 : 1件
To provide a method of transposition with the same transposition area as the wafer size, low defective density, and flatness suited even in sub- micro meter order thickness and LSI standard with respect to the same kind of or different kinds of substrates.例文帳に追加
ウェハーのサイズに等しい転移エリア、サブマイクロメートル次元の厚さ及びＶＬＳＩ基準に準じる平坦度を有し、欠陥密度が低い同種または異種基板における薄膜転移方法を提供する。 - 特許庁
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Wiktionary英語版での「sub- micro meter」の意味 |
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