synchrotron radiation x-raysとは 意味・読み方・使い方

X rays called synchrotron radiation and visible rays are generated through the meandering of an electron beam e^- when it passes between pairs of magnets 25a and 25b constituting an insertion light source 22 in an accelerator 21.例文帳に追加

加速器２１内の挿入光源２２を構成する複数対の磁石２５ａ、２５ｂ間を電子ビームｅ^-が通過する際電子ビームｅ^-が蛇行してシンクロトロンと呼ばれるＸ線や可視光が発生する。 - 特許庁

To obtain both a new polymer useful for preparing a resist suitable for fine processing by using various kinds of radiations, for example, KrF excimer laser or ArF excimer laser, X-rays such as synchrotron radiation, and a charged particle beam such as e-beam, and a resist composition containing the polymer.例文帳に追加

KrFエキシマーレーザーまたはArFエキシマーレーザー、シンクロトロン放射線などのX-線及び電子線(e-beam)などの荷電粒子線のような各種放射線を用いて微細加工に有用なレジストを調剤するに使用することができる新規重合体及びこれを含有するレジスト組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a radiation sensitive resin composition which can be advantageously used as a resist for the production of an integrated circuit supposed to be made minuter in future by making the composition adaptable to any radiation, e.g. X-rays such as synchrotron radiation or charged corpuscular radiation such as electron beams besides far UV such as excimer laser light.例文帳に追加

エキシマレーザーなどの遠紫外線以外にも、シンクロトロン放射線などのＸ線、電子線などの荷電粒子線といった、放射線のいずれにも対応できるので、今後さらに微細化が進行すると予想される集積回路製造用のレジストとして有利に使用できる感放射線性樹脂組成物を提供すること。 - 特許庁

To provide a radiation-sensitive composition which effectively sensitizes (extremely) far ultraviolet rays such as KrF excimer laser, ArF excimer laser, or EUV, X-rays such as synchrotron radiations, and electron beams, has excellent sensitivity, and can form chemical amplification type positive resist films capable of high precisely and stably forming fine patterns.例文帳に追加

ＫｒＦエキシマレーザー、ＡｒＦエキシマレーザー、ＥＵＶ等の（極）遠紫外線、シンクロトロン放射線等のＸ線、電子線に有効に感応し、感度に優れ、微細パターンを高精度に且つ安定して形成可能な化学増幅型ポジ型レジスト膜を成膜することができる感放射線性組成物を提供すること。 - 特許庁