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unknown state variableとは 意味・読み方・使い方
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In order to measure the temperature of a semiconductor wafer 3 in the noncontact state, radiated light from the semiconductor wafer 3 is measured, and the temperature of a semiconductor wafer 3 is operated, while estimating an effective radiation rate as an unknown variable, based on a measurement result of the radiated light.例文帳に追加
半導体ウェハ３の温度を非接触で計測するため、半導体ウェハ３からの放射光を測定し、放射光の測定結果に基づいて実効放射率を未知変数として推定しながら半導体ウェハ３の温度を演算する。 - 特許庁
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